酸化亜鉛のセンサ応用
研究キーワード：
酸化亜鉛薄膜、酸化亜鉛単結晶基板、センサ
研究シーズの特徴・独自性
【研究内容】
酸化亜鉛(ZnO)は，室温において励起子を利用した高効率な紫外線(UV)発光が可能な材料である。ZnOを用いたデバイスの開発を目指し，以下に取り組んでいる。
大気圧有機金属化学気相成長(MOCVD)法によるZnO薄膜のヘテロエピタキシャル成長。
RFスパッタリング法を用いたZnO薄膜の作製。
ZnO単結晶基板を用いたセンサの試作。
【特徴・独自性】
非極性ZnO薄膜の作製方法の検討
非極性単結晶ZnO基板の利用
溶液を用いたZnOの簡易な表面処理
産学連携の可能性
表面処理を施した非極性単結晶ZnO基板を利用したショットキーバリアダイオードの開発に成功している。また，このショットキーバリアダイオードを用いて水素ガスセンサの作製に成功している。他にも単結晶ZnO基板への表面処理により光導電型UVセンサの特性改善も試みている。過酸化亜鉛で表面終端されたZnOも作製しており，これらセンサやZnOの表面処理技術に興味があればお声がけ頂きたい。