試作コインランドリ −MEMS・半導体試作共用設備−

研究キーワード：
MEMS、半導体、センサ、マイクロシステム、光

研究シーズの特徴・独自性

4インチ、6インチ、一部8インチのMEMSを中心とした半導体試作開発のための共用設備で、必要な装置を必要なときに時間単位でお使いいただけます。東北大学に蓄積された関連ノウハウが利用可能で、スタッフが試作を最大限支援します。東北大学西澤潤一記念研究センターの2階スーパークリーンルームのうち、約1,200m2を主に利用しています。装置、料金については、ホームページをご覧ください。

産学連携の可能性

10年間で280以上の企業が利用しています。MEMS等のデバイスメーカーはもちろん、材料や機械部品メーカー、装置メーカーからも利用があります。各種センサや光学部品、微細金型作製等にお応えできます。