東北地域研究シーズデータベース
選択クリア
一関工業高等専門学校
スパッタリング法を用いたGa2O3ワイドギャップ半導体材料の作製
【研究キーワード】
スパッタリング、酸化物半導体、Ga2O3
ワイドギャップ材料、特に酸化物半導体に興味を持って新規材料探索をおこなっており、近年は特にGa2O3に注力している。Ga2O3は、4.9eV...
一関工業高等専門学校
未来創造工学科 電気電子系
教授
:
藤田 実樹
選択クリア
スパッタリング法を用いたGa2O3ワイドギャップ半導体材料の作製
【研究キーワード】
スパッタリング、酸化物半導体、Ga2O3
ワイドギャップ材料、特に酸化物半導体に興味を持って新規材料探索をおこなっており、近年は特にGa2O3に注力している。Ga2O3は、4.9eV...
一関工業高等専門学校
未来創造工学科 電気電子系
教授
:
藤田 実樹
Top