東北半導体・エレクトロニクスデザインコンソーシアム

Tohoku Semiconductor Electronics Design Consortium

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一関工業高等専門学校

スパッタリング法を用いたGa2O3ワイドギャップ半導体材料の作製

【研究キーワード】

スパッタリング、酸化物半導体、Ga2O3

ワイドギャップ材料、特に酸化物半導体に興味を持って新規材料探索をおこなっており、近年は特にGa2O3に注力している。Ga2O3は、4.9eV...

一関工業高等専門学校

未来創造工学科 電気電子系

教授

:

藤田 実樹

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