東北半導体・エレクトロニクスデザインコンソーシアム

Tohoku Semiconductor Electronics Design Consortium

東北地域研究シーズデータベース

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東北学院大学

薄膜トランジスタについての研究

【研究キーワード】

薄膜トランジスタ、デバイス開発、プロセス開発、材料開発

多数の半導体デバイス製造装置をクリーンルーム内に保有し、Ⅳ族系半導体（Si、Ge、SiGe、GeSn）を中心に下記テーマについてデバイス開発...

用途：

工程：

東北学院大学

工学部 電気電子工学科

教授

：

原 明人

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